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微機電系統際整合研究-子計畫五:利用表面微細加工技術製作電容式微型加速計之研究

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張培仁

微機電系統際整合研究-子計畫五:利用表面微細加工技術製作電容式微型加速計之研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	張培仁
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:	76頁 : 11x15公分;
標題:	電機工程 -
附註:	NSC85-2215-E002-023

微機電系統際整合研究-子計畫五:利用表面微細加工技術製作電容式微型加速計之研究
張培仁

微機電系統際整合研究-子計畫五:利用表面微細加工技術製作電容式微型加速計之研究 / 張培仁撰 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 76頁 ; 11x15公分.
NSC85-2215-E002-023.
電機工程

微機電系統際整合研究-子計畫五:利用表面微細加工技術製作電容式微型加速計之研究
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200 1 $a 微機電系統際整合研究-子計畫五:利用表面微細加工技術製作電容式微型加速計之研究 $f 張培仁撰
210 $a 台北市 $c 行政院國家科學委員會科學技術資料中心
215 $a 76頁 $d 11x15公分
300 $a NSC85-2215-E002-023
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700 $a 張培仁 $4 撰 $3 63023
801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20020220

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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

804448000001504

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 448 1142

1.一般(Normal)

在架

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