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銅的化學氣相沉積技術在其深次微米積體電路之應用的研究

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國立交通大學電子工程研究所

銅的化學氣相沉積技術在其深次微米積體電路之應用的研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	陳茂傑
其他團體作者:	國立交通大學電子工程研究所
出版地:	台北市
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:	157頁 : 11x15公分;
標題:	電子工程 -
附註:	NSC85-2215-E009-068

銅的化學氣相沉積技術在其深次微米積體電路之應用的研究
陳茂傑

銅的化學氣相沉積技術在其深次微米積體電路之應用的研究 / 陳茂傑撰 ; 國立交通大學電子工程研究所 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 157頁 ; 11x15公分.
NSC85-2215-E009-068.
電子工程

銅的化學氣相沉積技術在其深次微米積體電路之應用的研究
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215 $a 157頁 $d 11x15公分
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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

804621381000404

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 621.381 7542-1 V1

1.一般(Normal)

在架

0

804621381000405

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 621.381 7542-1 V2

1.一般(Normal)

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0

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