大葉大學圖書館 |

語系: 繁體中文

說明(常見問題)

登入

回首頁

切換: 標籤 | MARC模式 | ISBD

先進光學微影術中底抗反射層與衰減式相位偏移光罩的研究

~

台灣大學光電工程所

先進光學微影術中底抗反射層與衰減式相位偏移光罩的研究

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	陳學禮
其他團體作者:	台灣大學光電工程所
出版者:	行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
出版年:	1999
面頁冊數:	168頁 : 11x15公分;
標題:	電子工程 -
附註:	MOE88-0003-D84545004-D

先進光學微影術中底抗反射層與衰減式相位偏移光罩的研究
陳學禮

先進光學微影術中底抗反射層與衰減式相位偏移光罩的研究 / 陳學禮撰 ; 台灣大學光電工程所 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心, 1999. - 168頁 ; 11x15公分.
MOE88-0003-D84545004-D.
電子工程

先進光學微影術中底抗反射層與衰減式相位偏移光罩的研究
LDR:00415nhm 2200133 450 001 288910
009 9202272
100 $a 20100608d1999 0chiy0900 e
101 $a chi
102 $a tw
200 1 $a 先進光學微影術中底抗反射層與衰減式相位偏移光罩的研究 $f 陳學禮撰 $g 台灣大學光電工程所
210 $c 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 $d 1999
215 $a 168頁 $d 11x15公分
300 $a MOE88-0003-D84545004-D
606 $a 電子工程 $3 505
700 $a 陳學禮 $4 撰 $3 317645
712 $a 台灣大學光電工程所 $3 317644
801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20030218

筆 0 讀者評論

館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

典藏地名稱

館藏流通類別

833448600000893

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 448.6 7573 V1

1.一般(Normal)

限閱(視聽區)

0

833448600000894

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 448.6 7573 V2

1.一般(Normal)

限閱(視聽區)

0

2 筆 • 頁數 1 •
1

評論

新增評論分享你的心得

Export

取書館別

變更密碼

登入