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選擇性液相沉積氧化矽絕緣膜在淺溝隔離技術上之應用開發

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吳俊杰

選擇性液相沉積氧化矽絕緣膜在淺溝隔離技術上之應用開發

紀錄類型:	微縮資料 : 單行本
作者:	吳俊杰
出版地:	台北市
出版者:	國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:	72頁 :
標題:	電子工程 -
附註:	MOE87-0007-8511540;葉清發指導教授

選擇性液相沉積氧化矽絕緣膜在淺溝隔離技術上之應用開發
吳俊杰

選擇性液相沉積氧化矽絕緣膜在淺溝隔離技術上之應用開發 / 吳俊杰撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 72頁.
MOE87-0007-8511540;葉清發指導教授.
電子工程

選擇性液相沉積氧化矽絕緣膜在淺溝隔離技術上之應用開發
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801 1 $a TW $b 大葉大學 $c 20010201

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館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

833448600000761

三樓視聽資料區

3.不外借

微縮資料

MF 448.6 2624

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