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銅金屬薄膜之抗氧化保護膜與擴散障礙層膜在極大型積體電路之銅金屬化應用上的...
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莊瑞章
銅金屬薄膜之抗氧化保護膜與擴散障礙層膜在極大型積體電路之銅金屬化應用上的可靠性研究
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
莊瑞章
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
264頁 :
標題:
電子工程 -
附註:
MOE87-0007-8011805-D;陳茂傑 指導教授
銅金屬薄膜之抗氧化保護膜與擴散障礙層膜在極大型積體電路之銅金屬化應用上的可靠性研究
莊瑞章
銅金屬薄膜之抗氧化保護膜與擴散障礙層膜在極大型積體電路之銅金屬化應用上的可靠性研究
/ 莊瑞章 撰 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 264頁.
MOE87-0007-8011805-D;陳茂傑 指導教授.
電子工程
銅金屬薄膜之抗氧化保護膜與擴散障礙層膜在極大型積體電路之銅金屬化應用上的可靠性研究
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20010201
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館藏
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1
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MF 448.6 4411-A V2
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