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低介電常數材料與金屬(鎢、鈦、與氮化鈦)化學氣相沈積在積體電路上的應用與研究
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張俊彥
低介電常數材料與金屬(鎢、鈦、與氮化鈦)化學氣相沈積在積體電路上的應用與研究
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
梅玉貞
其他作者:
張俊彥
出版地:
台北市
出版者:
國科會科學技術資料中心;
面頁冊數:
158頁 : 11x15公分;
標題:
電子工程 -
附註:
MOE86-0007-8011539-D
低介電常數材料與金屬(鎢、鈦、與氮化鈦)化學氣相沈積在積體電路上的應用與研究
梅玉貞
低介電常數材料與金屬(鎢、鈦、與氮化鈦)化學氣相沈積在積體電路上的應用與研究
/ 梅玉貞 撰 ; 張俊彥 指導 - 台北市 : 國科會科學技術資料中心 - 158頁 ; 11x15公分.
MOE86-0007-8011539-D.
電子工程
張俊彥
低介電常數材料與金屬(鎢、鈦、與氮化鈦)化學氣相沈積在積體電路上的應用與研究
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20000523
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三樓視聽資料區
館藏
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833448600000048
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3.不外借
微縮資料
MF 448.6 4812 V1
1.一般(Normal)
限閱(視聽區)
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833448600000049
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料
MF 448.6 4812 V2
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