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概観
タイトル
主題
Nanoelectromechanical systems - Design and construction.
概観
著作:
2 作品に 1 出版物中に 1 言語
タイトル
Glancing angle deposition of thin films[electronic resource] :engineering the nanoscale /
…で:
(言語・文字資料 (印刷物))
Materials and failures in MEMS and NEMS[electronic resource] /
…で:
(コンピュータ・メディア)
主題
Nanotechnology.
Nanoelectromechanical systems
Chemical vapor deposition.
Nanoelectromechanical systems
Microelectromechanical systems
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