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半導體製程設備步進器定位機構研發-子計畫三:步進器定位機構精密位置量測級...
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國立台灣大學電機工程學系暨研究
半導體製程設備步進器定位機構研發-子計畫三:步進器定位機構精密位置量測級系統整合(1/3)
紀錄類型:
微縮資料 : 單行本
作者:
陳永耀
其他團體作者:
國立台灣大學電機工程學系暨研究
出版地:
台北市
出版者:
行政院國家科學委員會科學技術資料中心;
面頁冊數:
82頁 : 11x15公分;
標題:
電機工程 -
附註:
NSC85-2213-E002-043
半導體製程設備步進器定位機構研發-子計畫三:步進器定位機構精密位置量測級系統整合(1/3)
陳永耀
半導體製程設備步進器定位機構研發-子計畫三:步進器定位機構精密位置量測級系統整合(1/3)
/ 陳永耀 撰 ; 國立台灣大學電機工程學系暨研究 - 台北市 : 行政院國家科學委員會科學技術資料中心 - 82頁 ; 11x15公分.
NSC85-2213-E002-043.
電機工程
半導體製程設備步進器定位機構研發-子計畫三:步進器定位機構精密位置量測級系統整合(1/3)
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20020219
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全部
三樓視聽資料區
館藏
1 筆 • 頁數 1 •
1
條碼號
典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
索書號
使用類型
借閱狀態
預約狀態
備註欄
附件
804448000001461
三樓視聽資料區
3.不外借
微縮資料
MF 448 7539-1
1.一般(Normal)
在架
0
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